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          日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 LR 系列
          
            
            
          
              
          日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 LR 系列
          通過低溫區(qū)域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
          
            
          
            
            
              
          • 更新時間：2024-05-31
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          • 產(chǎn)品型號：LR421-T
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          • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
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          • 訪  問  量：340
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          聯(lián)系電話：0755-22220216
          
            
          
          
          
    
          
  
          
    
    
          
            	
          產(chǎn)品詳情
          
                
          
                	
          日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 LR 系列 
          日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 LR 系列 

          特點
          低溫區(qū)域均熱化（LR系列）
          在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
          氦氣密封
          通過搭載屏蔽電動機形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
          瞬停對策
          采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。
          出色的耐腐蝕性
          主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。
          通信功能
          可讀取與泵運轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。

          用途
          成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）
          縮短備料下料室的排氣時間
          作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣）

          池田屋實業(yè)(深圳)有限公司成立于2015年，位于廣東省深圳市，是一家從事中日貿(mào)易的企業(yè)。
          公司經(jīng)過多年的發(fā)展，已整合多方海外廠商渠道，有穩(wěn)定的合作關(guān)系，為企業(yè)提供售賣、維修、售后等一系列節(jié)能降本的服務(wù)。
          池田屋主要經(jīng)營日本科學儀器設(shè)備、實驗室儀器、各類檢測儀器、測量儀器、食品設(shè)備、光學設(shè)備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產(chǎn)品。
          公司擁有專業(yè)的銷售團隊、技術(shù)團隊、資深的管理團隊，通過全體員工的不懈努力，憑借在工業(yè)品領(lǐng)域的專業(yè)水平和成熟技術(shù)，
          服務(wù)于電子消費類、半導(dǎo)體，液晶光電，汽車業(yè)、造船業(yè)、地鐵、等專業(yè)用戶里的世界500強企業(yè)。
          規(guī)格
          型號LR60LR90LR180LR421LR421-T
          最大
          排氣速度          		50Hz62 m3/h
          (1030 L/min)          		112 m3/h
          (1860 L/min)          		183 m3/h
          (3100 L/min)          		440 m3/h
          (7333 L/min)          		440 m3/h
          (7333 L/min)
          60Hz80 m3/h
          (1333 L/min)          		126 m3/h
          (2100 L/min)          		237 m3/h
          (3950 L/min)
          到達壓力5.0 Pa
          最大排氣壓力 （吸入圧力）　大氣壓
          最大排氣口壓力
          （排出圧力）          		1~ 大氣壓 Pa
          吸氣口 (CE規(guī)格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG100
          排氣口KF40VG50
          質(zhì)量180 kg245 kg335 kg415 kg
          電源 *1三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
          380~440 VAC(50/60 Hz)
          電流值穩(wěn)定時6.9 A
          (at 200V)          		11.2 A
          (at 200V)          		18.9 A
          (at 200V)          		20.8 A
          (at 200V)
          最大值7.3 A
          (at 200V)          		11.8 A
          (at 200V)          		20.6 A
          (at 200V)          		48.5 A
          (at 200V)
          冷卻水一次壓力0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
          冷卻水出入口壓差>0.1 MPa>0.2 MPa
          冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
          吹掃氣一次壓力0.1~0.5 MPa
          二次壓力0.05~0.1 MPa
          氮氣吹掃軸5 SLM
          氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒有0~45 SLM

















          型號LR300LR600LR1200LR1800LR3601LR3601-T
          (TT)          		LR3601-RLR3601-TR
          (TTR)
          使用泵干式
          真空泵          		LR60LR90LR90LR180LR421LR421-TLR421LR421-T
          機械
          增壓泵          		PRC-03APRC-06APRC-012APRC-018APRC-036CPRC-036C
          (-T)          		PRC-036DPRC-036D
          (D-T)
          最大
          排氣
          速度          		50Hz359 m3/h
          (5,980
          L/min)          		653 m3/h
          (10,900
          L/min)          		1,012 m3/h
          (16,900
          L/min)          		1,701 m3/h
          (28,350
          L/min)          		3,200 m3/h(53,333 L/min)
          60Hz365 m3/h
          (6,080
          L/min)          		701 m3/h
          (11,700
          L/min)          		1,051 m3/h
          (17,500
          L/min)          		1,784 m3/h
          (29,700
          L/min)
          到達壓力0.67 Pa
          最大排氣壓力
          （吸入圧力）          		大氣壓
          最大排氣口壓力
          （排出圧力）          		1~ 大氣壓 Pa
          吸氣口 (CE規(guī)格)VG80
          (KF80)          		VG100
          (KF100)          		VG150
          (KF100)          		VG150
          排氣口KF40KF50
          MBP表面處理〇 *1〇 *1〇 *1〇 *1×T:×
          TT:×          		×TR:×
          TTR:〇
          質(zhì)量275 kg370 kg420 kg545 kg660 kg720 kg660 kg720 kg
          電源
          *2          		三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
          電流值穩(wěn)定時7.0 A
          (at 200V)          		12.3 A
          (at 200V)          		13.7 A
          (at 200V)          		21.4 A
          (at 200V)          		31.0 A(at 200V)
          20.5 A(at 400V)          		35.4 A(at 200V)
          20.5 A(at 400V)
          最大值9.6 A
          (at 200V)          		19.0 A
          (at 200V)          		24.2 A
          (at 200V)          		39.8 A
          (at 200V)          		58.4 A(at 200V)
          40.5 A(at 400V)          		82.0 A(at 200V)
          40.5 A(at 400V)
          冷卻水
          一次壓力          		0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
          冷卻水
          出入口壓差          		>0.1 MPa0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
          冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
          吹掃氣一次
          壓力          		0.1~0.5 MPa
          二次
          壓力          		0.05~0.1 MPa
          N2
          吹掃          		軸5 SLM
          氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒有 *30~45 SLM沒有 *30~45 SLM




          
               
          
            
          
            
            
          
            	
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                請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯數(shù)字），如：三加四=7
            
            
		
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                    	企業(yè)名稱：
            池田屋實業(yè)(深圳)有限公司
            
                    
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          • 
                    	聯(lián)系電話：
            0755-22220216
            
                    
            • 
                    
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                    	公司地址：
            深圳市龍華區(qū)龍華街道松和社區(qū)匯食街一巷7號3層
            
                    
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                    	企業(yè)郵箱：
            zx@ikedaya.cn
            
                    
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