ULVAC愛發(fā)科 熱陰極電離真空計(jì) 傳感器型
ULVAC愛發(fā)科 熱陰極電離真空計(jì) 傳感器型
特點(diǎn)
可連接到不同的測(cè)量范圍：復(fù)合電離真空計(jì)可以根據(jù)
小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮小（控制器體積縮小56%），成為同級(jí)別最小的產(chǎn)品之一。
操作性的提高：通過(guò)與PC/智能手機(jī)的連接，可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。
強(qiáng)大的產(chǎn)品陣容：除模擬輸出規(guī)格（SH200-A）和串行通信規(guī)格（SH200-R）外，還將增加EtherCAT規(guī)格（SH200-E）。
燈絲壽命通知功能：通過(guò)監(jiān)測(cè)燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
壓力測(cè)量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～5×10-8Pa）（選配SWU10-R的情況下）。
可以精確的測(cè)量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當(dāng)連接了可選的單元SAU時(shí)）。
用途
用于各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的工藝監(jiān)控，包括半導(dǎo)體和電子元件。
用于具有多個(gè)處理室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的極限壓力測(cè)量，例如in-line式和枚葉式
高真空?超高真空設(shè)備的壓力測(cè)量
規(guī)格
| 型號(hào) | SH200-A | SH200-R | HT200-E
|
| 規(guī)格 | 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 | 串口通信規(guī)格 | EtherCAT規(guī)格 |
| 適應(yīng)多離子傳感器 | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) |
| 可以連接的傳感器 | 多離子傳感器：1本
皮拉尼真空計(jì)SWU10-R：1本（可選）
大其他傳感器SAU：1本（可選） |
| 測(cè)量精度（N2） | SH200本體模式：±2％ |
| 取樣時(shí)間 | 60ms |
| 測(cè)定値出力 | 出力電壓 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁
圧力換算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^ |
| 更新時(shí)間 | 60msec |
| 控制輸入信號(hào) | FIL ON/OFF, FIL 1/2, DEGAS ON/OFF
打開集電極動(dòng)作、負(fù)邏輯
* FIL ON/OFF信號(hào)使用方式因模式而異 | - | - |
| 制御出力信號(hào) | 傳感器錯(cuò)誤，設(shè)定點(diǎn)1/2/3, 有效排放,燈絲電力監(jiān)控
定格：24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V | - | - |
| 串行通信規(guī)格 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT |
| LED顯示 | POWER/ERROR： 電源、LED ERROR (閃爍狀態(tài)根據(jù)各種模式變化) |
| 發(fā)射電流 | 1mA (1×10-3Pa以下), 10μA (1×10-3Pa以上) |
| DEGAS | 電子轟擊脫離方法（電子轟擊）1mA、330V |
| 測(cè)量部耐圧性 | 2×10+5Pa （絕對(duì)壓力）
* 需要單獨(dú)考慮法蘭和夾具等的耐壓性 |
| 傳感器內(nèi)部容量 | 17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46) |
| 使用溫度范圍 | 10～50℃ |
| 使用濕度范圍 | 15～80%(不結(jié)露) |
| 保管溫度 | -20～65℃(非通電時(shí)、不結(jié)露) |
| IP保護(hù)等級(jí) | IP30 |
| 電源電壓 | DC20～28V (波紋，噪音1%以下)
8W以下 |
| 輸入/輸出連接器 | D-sub15銷（M2.6螺絲） |
| 重量 | 調(diào)節(jié)器：約280g 測(cè)定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g |
| 外形尺寸 W×D×H | 69mm×63mm×90mm (控制器部分) |
| 適合規(guī)格 | CE |
2024-08-22
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