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          池田屋商社??!ULVAC愛發(fā)科 干式羅茨真空泵

          池田屋商社!!ULVAC愛發(fā)科 干式羅茨真空泵 LR1800
          池田屋實(shí)業(yè)優(yōu)勢供應(yīng) ,并提供報(bào)價(jià)圖片

          • 更新時(shí)間:2025-06-06
          • 產(chǎn)品型號:LR1800
          • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
          • 訪  問  量:65
          立即咨詢

          聯(lián)系電話:0755-22220219

          產(chǎn)品詳情

          池田屋商社??!ULVAC愛發(fā)科 干式羅茨真空泵 LR1800

          池田屋商社??!ULVAC愛發(fā)科 干式羅茨真空泵 LR1800



          通過低溫區(qū)域的泵體均熱化,在PVD工藝之外,尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

            特點(diǎn)

            • 低溫區(qū)域均熱化(Model:LR)
              在PVD工藝之外,尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

            • 氦氣密封
              通過搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu),非常安全。

            • 瞬停對策
              采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。

            • 出色的耐腐蝕性
              主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對泵內(nèi)部的腐蝕。

            • 通信功能
              可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信,則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

            用途

            • 成膜裝置(濺射裝置/蒸鍍裝置等)

            • 縮短備料下料室的排氣時(shí)間

            • 作為輔助排氣泵(渦輪分子泵、機(jī)械增壓泵的輔助排氣)

            規(guī)格

            型號LR60LR90LR180LR421LR421-T
            最大
            排氣速度
            50Hz62 m3/h
            (1030 L/min)
            112 m3/h
            (1860 L/min)
            183 m3/h
            (3100 L/min)
            440 m3/h
            (7333 L/min)
            440 m3/h
            (7333 L/min)
            60Hz80 m3/h
            (1333 L/min)
            126 m3/h
            (2100 L/min)
            237 m3/h
            (3950 L/min)
            到達(dá)壓力5.0 Pa
            最大排氣壓力 (吸入圧力) 大氣壓
            最大排氣口壓力
            (排出圧力)
            1~ 大氣壓 Pa
            吸氣口 (CE規(guī)格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG100
            排氣口KF40VG50
            質(zhì)量180 kg245 kg335 kg415 kg
            電源 *1三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
            380~440 VAC(50/60 Hz)
            電流值穩(wěn)定時(shí)6.9 A
            (at 200V)
            11.2 A
            (at 200V)
            18.9 A
            (at 200V)
            20.8 A
            (at 200V)
            最大值7.3 A
            (at 200V)
            11.8 A
            (at 200V)
            20.6 A
            (at 200V)
            48.5 A
            (at 200V)
            冷卻水一次壓力0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
            冷卻水出入口壓差>0.1 MPa>0.2 MPa
            冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
            吹掃氣一次壓力0.1~0.5 MPa
            二次壓力0.05~0.1 MPa
            氮?dú)獯祾?/td>5 SLM
            氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒有0~45 SLM

            *1 請訂購時(shí)指定。



            型號LR300LR600LR1200LR1800LR3601LR3601-T
            (TT)
            LR3601-RLR3601-TR
            (TTR)
            使用泵干式
            真空泵
            LR60LR90LR90LR180LR421LR421-TLR421LR421-T
            機(jī)械
            增壓泵
            PRC-03APRC-06APRC-012APRC-018APRC-036CPRC-036C
            (-T)
            PRC-036DPRC-036D
            (D-T)
            最大
            排氣
            速度
            50Hz359 m3/h
            (5,980
            L/min)
            653 m3/h
            (10,900
            L/min)
            1,012 m3/h
            (16,900
            L/min)
            1,701 m3/h
            (28,350
            L/min)
            3,200 m3/h(53,333 L/min)
            60Hz365 m3/h
            (6,080
            L/min)
            701 m3/h
            (11,700
            L/min)
            1,051 m3/h
            (17,500
            L/min)
            1,784 m3/h
            (29,700
            L/min)
            到達(dá)壓力0.67 Pa
            最大排氣壓力
            (吸入圧力)
            大氣壓
            最大排氣口壓力
            (排出圧力)
            1~ 大氣壓 Pa
            吸氣口 (CE規(guī)格)VG80
            (KF80)
            VG100
            (KF100)
            VG150
            (KF100)
            VG150
            排氣口KF40KF50
            MBP表面處理〇 *1〇 *1〇 *1〇 *1×T:×
            TT:×
            ×TR:×
            TTR:〇
            質(zhì)量275 kg370 kg420 kg545 kg660 kg720 kg660 kg720 kg
            電源
            *2
            三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
            電流值穩(wěn)定時(shí)7.0 A
            (at 200V)
            12.3 A
            (at 200V)
            13.7 A
            (at 200V)
            21.4 A
            (at 200V)
            31.0 A(at 200V)
            20.5 A(at 400V)
            35.4 A(at 200V)
            20.5 A(at 400V)
            最大值9.6 A
            (at 200V)
            19.0 A
            (at 200V)
            24.2 A
            (at 200V)
            39.8 A
            (at 200V)
            58.4 A(at 200V)
            40.5 A(at 400V)
            82.0 A(at 200V)
            40.5 A(at 400V)
            冷卻水
            一次壓力
            0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
            冷卻水
            出入口壓差
            >0.1 MPa0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
            冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
            吹掃氣一次
            壓力
            0.1~0.5 MPa
            二次
            壓力
            0.05~0.1 MPa
            N2
            吹掃
            5 SLM
            氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒有 *30~45 SLM沒有 *30~45 SLM

            *1 LR300

            、LR600、LR1200、LR1800可選是否進(jìn)行MBP表面處理。
            *2 請訂購時(shí)指定。
            *3 根據(jù)用途,使用氣鎮(zhèn)的規(guī)格也可報(bào)價(jià)。


            池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司成立于2015年,位于廣東省深圳市,是一家從事中日貿(mào)易的企業(yè)。

            公司經(jīng)過多年的發(fā)展,已整合多方海外廠商渠道,有穩(wěn)定的合作關(guān)系,為企業(yè)提供售賣、維修、售后等一系列節(jié)能降本的服務(wù)。

            池田屋主要經(jīng)營日本科學(xué)儀器設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室儀器、各類檢測儀器、測量儀器、食品設(shè)備、光學(xué)設(shè)備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產(chǎn)品。

            公司擁有專業(yè)的銷售團(tuán)隊(duì)、技術(shù)團(tuán)隊(duì)、的管理團(tuán)隊(duì),通過全體員工的不懈努力,憑借在工業(yè)品領(lǐng)域的專業(yè)水平和成熟技術(shù),

            服務(wù)于電子消費(fèi)類、半導(dǎo)體,液晶光電,汽車業(yè)、造船業(yè)、地鐵、等專業(yè)用戶里的世界500強(qiáng)企業(yè)。





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              池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司

            • 聯(lián)系電話:

              0755-22220219

            • 公司地址:

              深圳市龍華區(qū)龍華街道松和社區(qū)匯食街一巷7號3層

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              zx@ikedaya.cn

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