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產(chǎn)品分類

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ULVAC愛發(fā)科

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日本進口?。LVAC愛發(fā)科大流量干式真空泵

日本進口??！ULVAC愛發(fā)科大流量干式真空泵 GR90A
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更新時間：2025-06-07
產(chǎn)品型號：GR90
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
訪問量：80

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聯(lián)系電話：0755-22220219

產(chǎn)品詳情

日本進口！！ULVAC愛發(fā)科大流量干式真空泵 GR90A

日本進口?。LVAC愛發(fā)科大流量干式真空泵 GR90A

干泵"Model:GR"是以獲得良好業(yè)績和信賴的"Model:LR/HR"為基礎設計的，面向一般產(chǎn)業(yè)設計的簡單結(jié)構(gòu)的泵。

特點

可應用于大氣真空間反復抽氣的高負荷領域，可在高負荷下持續(xù)使用。
適用load lock室（裝載/卸載室），可實現(xiàn)高吞吐量。
感應電機可通用
可以安裝防爆電機等特殊電機（可選）
采用多電壓兼容電機

用途

空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣
各種成膜設備放入取出室的真空排氣
真空干燥，真空氣體置換和真空脫泡等一般產(chǎn)業(yè)
真空氣體置換，如真空熱隔絕和氣體填充

規(guī)格

型號			GR60A		GR90A		GR180A
最大排氣速度	50Hz	m3/h(L/min)	62(1030)		112(1860)		183(3100)
	60Hz	m3/h(L/min)	80(1333)		126(2100)		237(3850)
極限壓力 *1		Pa	5.0
最大排氣壓力（吸入圧力）			大氣壓
最大排氣口壓力（排出圧力）		Pa	1.0 ~ 大氣壓
吸氣口			VG50		VG80
排氣口			NW40
DRP表面處理			〇
電機	輸出 [kW]		2.2		3.7		7.5
	電壓 [V]	50Hz	200~240/380~415
		60Hz	200~240/380~460
質(zhì)量		kg	128		188		268
冷卻方式	冷卻水一次供給壓力	MPa	0.1~0.3
	冷卻水出入口壓差	MPa	>0.1
	冷卻水溫度	℃	10~30 *2
	冷卻水流量	L/min	>5.0
氮氣	一次側(cè) 供給圧力	MPa	0.1~0.5
	二次側(cè) 調(diào)整圧力 *3	MPa	0.05 to 0.1 (運作時)
	軸	SLM	5.0 *4

*1 極限壓力是氮氣（軸封氣體）為5.0 SLM時的值。
*2 不結(jié)露。
*3 通過調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)壓力計值。
*4 氮氣（軸封氣體）的流量固定為5.0SLM。

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